层灵敏度
层灵敏度(Layer Sensitivity)显示哪些层最需要精确制造。它把每层的厚度微调一个小量,测量光学性能变化多少,并按该变化对层排序。排序靠前的层是需要最严格监控与工艺控制的层。
探测尺寸(Probe size):在每层上测试的厚度变化大小。选择相对(Relative)(层自身厚度的百分比,默认 1%,也是通常选择,因为真实误差随厚度缩放)或绝对(Absolute)(固定的纳米量)。符号无关紧要;工具总是测试名义值上下相同的量。
刻度(Scale):**归一化(Normalized)将最敏感的层设为 100% 并相对它缩放其余层(比较层的最简单方式),或绝对(Absolute)**在对数轴上显示评价(merit)的原始变化(当一层占主导且你想知道其真实大小时使用)。
排序针对在设计编辑器中设置的面模式(前、后、两者或对称)评估,并显示为窗口上的徽标。
窗口为排序表:每层一行,最关键者在前,附其材料与扰动产生的评价变化。从上往下读,需要最严格监控的层是前几行。**导出(Export)**将排序写入 CSV。
在表格下方打开**图表(Chart)**以条形显示相同数值。高条意味着那里的小厚度误差会产生大的性能变化。短条意味着该层宽容。一个条形高度都大致相同的设计是稳健的,没有单层能毁掉它。
层按设计编辑器编号(层 1 接触基底),锁定的层被排除。灵敏度针对光学性能测量,因此排序反映对光谱的影响。
- H. A. Macleod, Thin-Film Optical Filters, 5th ed., §13.7。