监控工作表
监控工作表回答的是镀膜开始之前的问题：这个设计到底能不能监控。它对每 一层给出：监控可用来停切的信号有多少、停切点落在包夹它的两个极值点之间的什么 位置，以及当监控读数出错时厚度会偏离多少。一个无法可靠停切的设计，无论光谱多 漂亮，都不可能稳定地做出来。
单色监控仿真器做的是一次制备实验并给出结果。 本窗口不做实验，它给出的是方案本身的可控性。
镀膜过程监控的是监控片，而不是工件。每片监控片只承载分配给它的那些层，因此一 片监控片就是一段从裸玻璃开始的短膜系。整张工作表都围绕这一点：一片上放的层太 多，靠后的层就落在几乎没有摆幅的信号上；放得太少，整炉需要的片数又超过夹具能 装的数量。通常一片放二到四层。
同一片上的所有层使用同一个监控波长。薄到自己产生不了极值点的层，只能借助前一 层的极值点，而那只存在于同一条曲线上。
每片层数按沉积顺序把整炉分配到各监控片上。数字不好看时，首先要调的就是它。
自动 λ 为每片监控片选一个监控波长：使该片上最差的一层停切最准的那个波长。在任何波长下都没有信号的层（例如与监控片折射率相同的层）不参与选择：无论选哪个波长，它都要交给晶控。
全部设为把旁边框内的波长应用到整炉的每一层，适用于全程只用一个监控波长的 设备。
重置方案清除手动输入的监控片编号与波长，回到按每片层数的简单划分。
监控片与 λ 单元格可直接编辑。波长属于监控片而不属于某一层，因此在任意 一行输入波长，都会改变该片上的所有层。带有相同监控片编号的层即使不是连续镀制， 也位于同一块物理片上，这正是整炉过程中再次用回某一片的方式。
设置面板中：
测量量、偏振和入射角是监控所看到的量。腔内监控多数在正入射下测透射。
监控片玻璃是监控所观察的监控片。默认跟随设计基底；若监控片与工件不是同一 种玻璃，请另选材料。吸收性基底上的设计必须在透明监控片上监控，就在这里设置。
监控片系数是监控片所得厚度相对于工件所得厚度的倍数。监控片与工件位置相同 时保持为 1。
信号误差是监控读数可能偏离真值的程度，以读数的百分比表示。它与单色监控仿 真器中的随机信号误差是同一个量。
绝对噪声是监控的光度噪声底，以满量程的百分比表示。与信号误差不同，它不随 读数变小，因此在阻带深处信号已消失的波长会被判为不可用，而不是被当成无噪声。 正是它使 Auto λ 避开反射镜自身的阻带。整个摆幅小于此噪声底加信号误差的层没有可用信号，表格会如实显示。
最大 Δd 是允许一层带有的停切厚度误差，以该层厚度的百分比表示。代价超过此 值的层会被标记。
曲线窗口是曲线图打开时一次显示的层数。
每一沉积层一行，按镀制顺序排列。
监控片给出监控片编号及该层在片上的位置，例如 2-1 表示第 2 片上的第 1 层。
λ 是监控波长。该单元格标红，说明这一层在此波长上无法足够准确地停切。
信号是操作者停切时的读数。初始电平是该片起始时的读数，只出现在每片的 第一层上，也就是设置增益的地方。
极值点是该层经过的极值点个数。为 0 表示这一层要借助同片上更早一层的极值点 来读取，或者监控根本看不到这一层在变化：整个摆幅小于监控自身误差的层（例如阻带深处的层）显示为 0，没有幅值，Δd 为 ∞。
幅值是该层可用的完整摆幅，取自停切点前后两个极值点之间。它不是该层实际走 过的摆幅，后者通常更小。
起始摆幅是从该层起始电平到那个极值点的距离，停切摆幅是从该极值点到停 切点的距离。
停切比是停切摆幅除以幅值：停切点落在两个极值点之间的位置。接近 0 时停在极 值上，曲线平坦，电平几乎说明不了厚度；接近 0.5 时停在斜率最陡处，电平信息最充 分；接近 1 时已经接近下一个极值。
Δd 是上述一切最终折算出的结果：当监控按上面设定的信号误差读错时，留下的厚 度误差。它按该层实际使用的停切规则计算，即跟随信号到某一电平，或检测极值处的 反转，因此两者可以放在同一尺度上比较。按时间停切的层没有光学反馈，此列为空。
晶控是晶体监控需要走到的厚度，单位为千埃，每一层都填写。被标记的层正是要交给晶控的层，以正常颜色显示；其余各层显示为灰色。
导出把表格写成 CSV。
表格下方的曲线图就是监控视角下的整炉过程：信号对累计光学厚度，每个停切点都标注 并编号，每层的曲线都以虚线延续到停切之后，使决定其幅值的那个极值点可见。各监控 片以交替底色分带显示，用标记色画出的层就是超出允差的层。
拖动表格与曲线图之间的分隔条，可以把窗口空间分给其中任意一方。
整炉端到端画在一起是看不清的，因此曲线图打开时只显示最前面的若干层。下方的长条 显示整炉全貌，当前可见范围以方框标出：拖动方框沿整炉移动，拖动方框两端可放宽或 收窄视野，在图上滚动滚轮可缩放。工具栏中的重置回到打开时的视图。
曲线在整炉后段逐渐变平的那些层就是需要处理的层。给它们单独一片监控片，换一个 波长，或者接受它们改用晶控。
信号按整片监控片读取：正面生长中的镀层与裸露的背面按非相干方式叠加，与单色监 控仿真器采用同一约定。n = 1.52 的裸片读数为 91.8 %，监控增益就是按这个电平设 置的。监控片悬在腔体内，因此无论设计嵌在何种介质中，监控信号都按镀层上方为空气来读取：夹在两片玻璃之间设计的滤光片，其监控片仍与在空气中一样，第一层的读数是裸片电平，而不是 100 %。
- H. A. Macleod, Thin-Film Optical Filters, 5th ed., Ch. 12.
- A. V. Tikhonravov, M. K. Trubetskov and T. V. Amotchkina, “Statistical approach to choosing a strategy of monochromatic monitoring of optical coating production”, Appl. Opt. 45, 7863 (2006).